Cum continua progressione technologiae semiconductoris, in industria semiconductoris et etiam industriae photovoltaicae, requisita pro superficiei qualitate lagani substrato vel epitaxiali scheda valde stricta sunt.Quid ergo quale lagana requiruntur?Accipiens lagana sapphiri in exemplum, quibus indicibus uti possunt ad aestimandam laganae qualitatem superficiem?
Quae sunt aestimatio uncta indicibus?
Tres Indicatores
Nam lagana sapphiri, eius aestimationis indices sunt totales crassitudinis declinationis (TTV), flexus (arcus) et stamen (Stamen).Hi tres parametri simul planitiem et crassitudinem lagani Pii aequalitatem reflectunt, et lagani gradum metiuntur.Corrugatio coniungi potest cum flatu aestimandi qualitatem superficiei lagani.
Quid est TTV, ARCUS, Stamen?
TTV (Total Crassitudo Variationis)
TTV interest inter maximam et minimam lagani crassitudinem.Hic modulus maximus index usus est ut laganum crassitudinis aequalitatem metiretur.In processu semiconductori, crassitudo lagani super totam superficiem valde uniformis esse debet.Mensurae plerumque quinque locis in lagana factae et differentia computata est.Denique haec aestimatio magni ponderis est ad qualitatem lagani diiudicandam.
Arcum
Arcum in fabricando semiconductori ad flexum lagani refert, distantiam liberans inter medium lagani lagani et plani referentis.Verbum probabiliter ex descriptione figurae rei flectitur, sicut arcus curvae figurae.Arcus valor definitur digredior inter centrum et ora laganum Pii mensurans.Hic valor in micrometris (µm) exprimi solet.
Warp
Sttamen laganum proprietas globalis est quae differentiam mensurat inter maximam et minimam distantiam inter medium lagani gratuiti et plani referentis.Spatium a superficie lagani pii ad planum repraesentat.
Quid interest inter TTV, Arcum, Stamen?
TTV in crassitudine versatur nec versatur circa flexuram vel distorsionem lagani.
Inclinatio ad altiorem flectitur, maxime considerans flexionem centri et extremitatis.
Stamen plus excedit, inter curvationem et retortionem totius superficiei lagani.
Etsi hi tres parametri ad figuram et proprietates geometricae lagani Pii referuntur, aliter tamen mensurantur et describuntur, eorumque immutatio in processu semiconductoris et processus lagani diversus est.
Minores tres parametri, melior et major parametri, major negativa in processus semiconductoris.Ideo, ut semiconductor medicus, scire debemus momentum laganum profile parametri ad totum processum, fac processum semiconductorem, singula observare debere.
censoring）
Post tempus: Iun-24-2024