Pii ad carbide
Carbide Silicon (SiC) est mixta semiconductor materia carbonis et siliconis composita, quae una est ex materia ideali ad caliditatem caliditatem, altam frequentiam, altam vim et altas cogitationes intentionis.Cum materia siliconis tradita (Si), rima cohors carbidi pii est 3 temporibus Pii.Scelerisque conductivity 4-5 temporibus est Pii;Intentione naufragii 8-10 temporibus est Pii;Saturatio electronicarum calliditas est 2-3 temporum Pii, quae necessitatibus industriae hodiernae ob altam potentiam, altam intentionem et frequentiam altam occurrit.Maxime adhibita est summus celeritas, summus frequentia, summus potentia et levis electronicarum partium emittens.In amni applicatione agrorum dolor eget, nova vehiculis energiae, vis venti voltaicae, 5G communicatio, etc. carbida Silicon diodes et MOSFETs commercium adhibitae sunt.
Repugnantia caliditas.Cohors rima latitudo carbidis pii carbidi 2-3 temporibus Pii est, electrons non facile est transitus ad altas temperaturas, et superiora operantia temperaturas sustinere potest, et scelerisque conductivitas carbidi pii 4-5 temporibus Pii est; dissipatio caloris fabricam faciens faciliorem et modum temperatura operans altiorem.Resistentia caliditas calidissimam densitatem potentiam signanter augere potest, dum exigentias in systemate refrigerationis minuens, terminatio leviora et minora faciens.
Princeps pressura sustinere.Ruptura campi electrici roboris carbidi Pii est 10 temporibus Pii, quae altioribus intentionibus resistere potest et ad cogitationes altae intentionis aptior est.
Alta frequentia resistentia.Carbida Silicon bis electronicam summam ratem Pii habet saturatam, inde in absentia tendentis currentis in processu shutdown, quod efficaciter emendare potest frequentiam machinae mutandi et minuendi machinae percipere.
Humilis industria detrimentum.Cum materia Pii comparata, carbida siliconis ob-resistentiam et iacturam infimam habet.Eodem tempore, princeps band-rimae latitudinis carbide siliconis lacus venas et potentiam damni valde minuit.Praeterea carbida siliconis fabrica venam phaenomenon trahens in processu shutdown non habet et mutabilitas iactura gravis est.
Pii carbide industria catenae
Hoc maxime includit subiectum, epitaxiam, consilium, fabricam, signationem et cetera.Silicon carbide a materia ad semiconductoris potentiae fabrica experietur unum cristallum incrementum, regulam dividentem, epitaxialem incrementum, laganum consilium, fabricam, pacamentum et alios processus.Post synthesin carbidi pii pulveris, primo fit regula pii carbide, deinde pii carbide substrata dividendo, stridendo et poliendo obtinetur, et epitaxialis scheda per epitaxialem augmentum obtinetur.laganum epitaxiale factum ex carbide pii per lithographiam, etching, iotum implantationem, passionem metallicam et alios processus, laganum in mortem inciditur, fabrica fasciculata est, et fabrica in testam singularem componitur et in modulum conglobatur.
Fluvius industriae catena 1: substrata - crystalli incrementum est nucleus processus link
Silicon carbide subiecta rationum circiter 47% sumptus carbidi pii machinarum, summa claustra technicae fabricandi, maxima aestimatio est nucleus futuri magnae industrialisationi SiC.
Ex prospectu differentiarum proprietatis electrochemicae, materias substratas carbide pii in substratas conductivas dividi potest (resistentia re- gionis 15~30mΩ·cm) et subiecta semiinsulata (resistentia superior quam 105Ω·cm).Haec duo genera subiecta artificiis discretis fabricare solent ut cogitationes potentiae et cogitationes radiophonicae frequentiae post incrementum epitaxialem respective.Inter eas, semi-insulatae carbidi siliconis subiectae maxime adhibita sunt in fabricandis machinis gallii nitride RF, machinas photoelectricas et cetera.Crescendo in strato epitaxiali semiinsulato SIC subiecto, lamina sic epitaxialis praeparatur, quae adhuc in HEMT gan iso-nitride RF machinas praeparari potest.Pii carbide substrata conductiva maxime adhibetur in fabricarum potentiarum machinationibus.Differentia a tradito potentiae siliconis fabrica processus fabricandi, carbida pii machinatio non potest directe facta in substrata carbide pii, et pii carbide epitaxialis iacuit necesse est ut in subiecto conductivo crescat ut schedam carbidam epitaxialem pii et epitaxialem obtineat. stratum fabricatum est in Schottky Diode, MOSFET, IGBT aliisque viribus machinis.
Pulvis carbidis Pii summae puritatis carbonis pulveris et summae puritatis pulveris Pii synthesatus est, et carbide pii magnitudinum variae sub speciali campo campi temperaturae crevit, et postea per multiplices processus processus processus carbidi pii substrato producti sunt.Processus core includit:
Materia rudis synthesis: Summus puritas pulveris pii + toner mixta est secundum formulam, et reactio exercetur in thalamo reactione sub conditione calidissima supra 2000°C ad componendum particulas carbidas silicon cum speciei et particula speciei crystalli. magnitudine.Inde per contritionem, protegendorum, purgationem et alios processus, ad metus altae puritatis pii carbide pulveris rudis materiae.
Incrementum crystallum est nucleus processus carbidi pii substrati fabricandi, qui proprietatibus electricis carbidi pii substratis determinat.In praesenti methodi praecipuae incrementi crystallini sunt vapores corporis translatio (PVT), caliditas chemicae depositio vaporum (HT-CVD) et epitaxia periodi liquidae (LPE).Inter eos, PVT methodus amet modus est incrementi mercatoriae SiC nunc subiectae, cum summa technica maturitate et late in machinatione adhibita.
Praeparatio Substratorum SiC difficilis est, ducens ad magnum pretium
Temperatura campi temperantia difficilis est: Si virgae crystalli incrementum solum 1500℃ indiget, dum virga crystalli SiC crescere debet ad caliditatem supra 2000℃, et plus quam 250 isomers SiC, sed principale 4H-SiC una cristalli structura. productio machinis potentiae, nisi subtilis temperantiae, alias vitreas structuras habebit.Praeterea clivus temperatus in uasculo SiC sublimationis ratem determinat translationis ac dispositionis et incrementi modum atomorum gaseorum in cristallo interface, quod afficit incrementum rate et crystallum qualitatem crystallinam, ideo necesse est ut campus temperatus systematicus formetur. imperium amplificat.Comparata cum materiae Si, differentia in SiC productio est etiam in processibus caliditatis caliditatis sicut implantationis caliditas, oxidationis caliditas, caliditas activationis, et processus dura larva ab his processibus caliditatis exigentibus.
Tardus cristallum incrementum: incrementum rate Si virgae crystallinae attingere potest 30 ~ 150mm/h, et productio 1-3m siliconis virgae crystalli tantum accipit circa 1 diem;SiC virga crystalli cum PVT methodo exempli gratia, rate incrementum est fere 0.2-0.4mm/h, 7 dies minus quam 3—6cm, crescens rate minus quam 1% materiae siliconis, productio capacitas perquam finitum.
Altus producti parametri et fructus humiles: nuclei parametri SiC substrati includunt densitatem microtubulae, densitatem dislocationem, resistivity, warpagem, asperitatem superficiei etc. Intricata ratio machinalis est atomos componere in camera alta temperatura clausa et cristallum incrementum completum; moduli indices moderante.
Materia habet altitudinem duritiem, altitudinem fragilitatis, longi temporis secantis et alte induendi: SiC Mohs durities 9.25 est secunda tantum adamas, quae ducit ad notabilem augmentum difficultatem secandi, stridoris et poliendi, et capit circiter 120 horas ad. secare 35-40 frusta a 3cm crassa regulam.Praeterea, propter nimiam fragilitatem SiC, laganum processus vestium plus erit, et ratio output tantum fere 60% est.
Progressio trend: Amplitudo auget + pretium diminutionis
Forum global SiC 6-unc volumen productio linea maturatur, et societates principales mercatum 8 inch intraverunt.Progressio domestica incepta maxime 6 dig.In praesenti, quamquam pleraeque societates domesticae adhuc in lineis productionis 4 pollicis fundantur, sed industria paulatim dilatatur ad 6-unc, cum maturitas instrumentorum technologiarum 6-unciarum sustinentium, technologiae domesticae SiC subiectae paulatim etiam oeconomiae offensionum augentur. scala magnarum amplitudinis linearum productionis reflectetur, et currens domesticus 6-unciae massae productionis temporis intervallum ad 7 annos coarctavit.Maior lagana magnitudo augeri potest in numero actorum unius, cedere rate emendare, et proportio minui ramentorum, et sumptus investigationis et evolutionis et detrimentum fere 7% conservari, laganum meliore. USUS.
Multae adhuc difficultates in consilio consilio
Commercium Diodis SiC sensim emendatur, in praesenti, complures artifices domestici productos SiC SBD designaverunt, productos mediocres et alta intentione SiC SBD bonam stabilitatem habent, in vehiculo OBC, usum SiC SBD+SI IGBT ad stabilitatem obtinendam. vena densitatis.Nunc nulla sunt claustra in diplomate instrumenti SiC SBD productorum in Sinis, et hiatus cum terris exteris parva est.
SiC MOS multas difficultates adhuc habet, adhuc interstitio est inter SiC MOS et artifices ultramarinos, et suggestum fabricandi adhuc sub constructione pertinet.Hoc modo ST, Infineon, Rohm et alii 600-1700V SiC MOS massam productionem consecuti sunt et signati ac multis industriis fabricandis evecti, dum consilium domesticum currente SiC MOS basically peractum est, plures fabricae fabricae apud fabs laborant. laganum scaena fluit et postea verificationis mos adhuc aliquo tempore eget, ideo adhuc diu est ex magna mercatura.
Nunc, structurae planae electio amet est, et genus fossae late in campo pressurae summus in futuro adhibetur.Structura planaria SiC MOS fabricatores multi sunt, structura planaria non facile est producere problemata naufragii localia cum rimam, stabilitatem operis afficiens, in foro infra 1200V amplis valoris applicationis habet, et structura plana respective est. simplex in fabricandis fine, ut obviam manufacturibilitatis et sumptus moderandis duobus aspectibus.Sulcus machinam habet commoditates parasiticae inductionis humilissimae, celeritas mutandi ieiunium, humilis iactura et relative princeps effectus.
2--SiC laganum nuntium
Pii carbide fori productio et incrementum venditionis, attendunt inaequilibrium structurarum inter copiam et postulatum
Cum celeri incremento mercatus postulatum ad electronicas potestates summus frequentia et summus potentiae, modus physicus utres silicon-basis semiconductoris machinae sensim prominentes factae sunt, et tertia-generatio materiae semiconductoris gradatim repraesentatae a carbide silicon (SiC) sensim habent. facti sunt industriae.Ex materia perficiendi parte, pii carbide III temporibus cohortis gap latitudo materiae siliconis, 10 temporibus criticae virium campi electrici naufragii, 3 vicibus conductivity scelerisque, ergo carbide pii machinae sunt aptae ad altam frequentiam, alta pressione; caliditas caliditas et aliae applicationes, adiuva ad amplio efficientiam et potentiam densitatem systematum electronicarum potentiarum.
In praesenti, SiC diodes et SiC MOSFETs sensim ad forum moventur, et fructus maturiores sunt, inter quos SiC diodes late utuntur loco diodi-pii pii in quibusdam agris, quia non habent utilitatem e contrario recipiendi curam;SiC MOSFET etiam sensim in autocinetis, industria repositionis, in acervum, photovoltaicum et in aliis regionibus adhibendum est;In campo applicationes automotivae, inclinatio modularisationis magis magisque eminentior fit, superior observantia SiC niti debet processibus fasciculis provectis ad perficiendum, technice cum cortice respective matura obsignando amet, futurum vel ad evolutionem plasticam signandam. eius notae nativus evolutionis aptior est modulis SiC.
Pii carbide pretium declinare celeritatem vel ultra imaginationem
Applicatio carbidi siliconis maxime terminatur ab magno pretio, pretium SiC MOSFET sub eodem gradu altior est 4 temporibus quam IGBT Si innititur, hoc est, quia processus carbidi siliconis est multiplex, in quo incrementum est. unicum crystallum et epitaxiale non solum acerbum in ambitu, sed etiam incrementi lentum est, et unicus cristallus processus in subiectam processum per sectionem et politionem ire debet.Ex propriis materialibus notis ac technologiae immatura processui, cessus subiecti domestici minus quam 50% est, et variae res ad altum substratae et epitaxiales pretia ducunt.
Nihilominus, compositio carbidi siliconis machinis et machinis siliconis fundatae e diametro oppositis constat, substrata et epitaxialis sumptibus canalis anterioris rationem 47% et 23% totius machinae respective, totaling circiter 70%, fabricae consilio, fabricando. et obsignare nexus canalis posterioris rationem pro 30% tantum, sumptus productio machinis silicon-nisi maxime colligitur in lagana fabricatione canalis posterioris circiter 50%, et rationum sumptus substratos pro modo 7%.Phaenomenon valoris carbideis siliconis catenae industriae inversi significat quod fabricatores epitaxy fluminis subiecta nucleum habent ius loquendi, quod est clavis ad extensionem inceptis domesticis et externis.
Ex dynamica parte in foro, sumptus carbide pii reducendo, praeter carbidam siliconis longam crystallum et slicing processum meliore, magnitudinem lagani ampliare est, quae etiam in praeteritum perfectum iter semiconductoris evolutionis est; Wolfspeedus notitias ostendit upgrade carbidi pii substratae ab 6 digitis ad 8 pollices, productionis doli idonei per 80%-90% augeri posse, et proventus auxilium emendare.Coniunctis unitatis sumptus reducere potest per 50%.
2023 notum est ut "8-inch SiC annus primus", hoc anno, artifices carbidi domestici et externi siliconis accelerantes extensionem carbidi Pii VIII-unc, ut Wolfspeed insanus obsideri 14.55 miliardis dollariorum ad productionem expansionis carbidi pii; cuius pars momenti est constructio plantarum 8 inch SiC fabricationis subiectae, Ad futuram copiam 200 mm SiC nudum metallum pluribus societatibus invigilandum est;Domestica Tianyue Provectus et Tianke Heda etiam diu-term pacta cum Infineon signaverunt ut supplerent 8-inch pii carbidi subiectorum in futurum.
Incipiens ab hoc anno, carbida Pii acceleret ab 6 digitis ad 8 pollices, Wolfspeed expectat ab 2024, sumptus unitas 8 digitorum distentorum comparari cum costa unitatis chip 6 digitorum substratae in 2022 plus quam 60% reducetur. et declinatio sumptus ad applicationem mercatus amplius aperiet, Ji Bond Consultatio investigationis data monstravit.Praesens mercatus participatio productorum 8-unciarum minus est quam 2%, et mercatus participes expectatur crescere ad 15% circiter ab 2026 .
Re quidem vera declinatio in pretio carbidi pii substratis multi imaginationem excedere potest, mercatus monetae oblatio 6-uncorum subiecta est 4000-5000 Yuan/fragmentum, comparatum cum initio anni multum cecidit, est Exspectatur infra 4000 Yuan anno proximo cadere, notandum est aliquos artifices ut primum mercatum obtinere, pretium venditionis ad lineam sumptus infra redegisse, exemplar belli precii aperui, maxime in substrata carbide siliconis congesta. copia relative sufficiens fuit in campo humili-voltage, artifices domestici et exteri facultatem productionem infensi dilatant, vel carbida silicone suppeditante scaena ante quam excogitata fiat.
Post tempus: Jan-19-2024