Lamella SiC Epi 4unciae pro MOS vel SBD
Epitaxia significat incrementum strati materiae monocrystallinae altioris qualitatis in superficie substrati carburi silicii. Inter eas, incrementum strati epitaxialis nitridi gallii in substrato carburi silicii semi-insulanti epitaxia heterogenea appellatur; incrementum strati epitaxialis carburi silicii in superficie substrati carburi silicii conductivi epitaxia homogenea appellatur.
Epitaxia secundum requisita designationis machinae incremento strati functionalis principalis fit, perfunctionem microplagulae et machinae magnopere determinat, sumptus 23% attingit. Methodi principales epitaxiae pelliculae tenuis SiC hoc in stadio includunt: depositionem vaporis chemici (CVD), epitaxiam fasciculi molecularis (MBE), epitaxiam phasis liquidae (LPE), et depositionem et sublimationem laseris pulsatilis (PLD).
Epitaxia nexus maximi momenti est in tota industria. Crescendo laminas epitaxiales GaN in substratis semi-insulantibus e carburo silicii, laminae epitaxiales GaN e carburo silicii fundatae producuntur, quae ulterius in machinas RF GaN, ut transistores altae mobilitatis electronicae (HEMTs), transformari possunt.
Crescente strato epitaxiali carburi silicii in substrato conductivo, ad laminam epitaxialem carburi silicii obtinendam, et in strato epitaxiali ad fabricationem diodorum Schottky, transistorum semi-campi effectus auri-oxygenii, transistorum bipolarium portae insulatae, aliorumque instrumentorum potentiae adhibito, qualitas epitaxialis in effectu instrumentorum magnum momentum habet, quod in evolutione industriae etiam momentum gravissimum agit.
Diagramma Detaliatum

