Lamella LNOI (Lithium Niobatum in Isolatore) Telecommunicationis Sensus Electro-Opticus Altus
Diagramma Detaliatum
Conspectus
Intra capsulam lamellae (vel "platae") sulci symmetrici inveniuntur, quorum dimensiones plane uniformes sunt ad duas partes lamellae sustinendas. Capsula crystallina plerumque ex materia plastica translucida PP fabricatur, quae temperaturae, detritioni, et electricitati staticae resistit. Colores additivorum varii adhibentur ad segmenta processus metallici in productione semiconductorum distinguenda. Propter parvam magnitudinem clavium semiconductorum, densa exemplaria, et requisita magnitudinis particularum in productione valde severa, capsulae lamellae ambitus purus praestandus esse debet ad coniungendum cum cavitate reactionis capsulae microambientalis variarum machinarum productionis.
Methodologia Fabricationis
Fabricatio crustularum LNOI ex pluribus gradibus accuratis constat:
Gradus 1: Implantatio Ionis HeliiIones helii in crystallum LN in massam inducuntur, instrumento implantationis ionicae utens. Hi iones in profunditate specifica haerent, planum debilitatum formantes quod tandem separationem pelliculae faciliorem reddet.
Gradus II: Formatio Substrati BasisSeparata crusta silicii vel ligni ligni (LN) SiO₂ oxidatur vel stratis obducitur per PECVD vel oxidationem thermalem. Superficies superior eius planarizatur ad optimam cohaerentiam efficiendam.
Gradus III: Nexus LN ad SubstratumCrystallum LN iontibus insitum invertitur et ad basim lamellae per nexum directum lamellae adhaeret. In investigationibus, benzocyclobutenum (BCB) ut glutinum adhiberi potest ad nexum sub condicionibus minus strictis simplificandum.
Gradus IV: Tractatio Thermalis et Separatio PelliculaeRecoctio formationem bullarum in profundo implantato activat, separationem tenuis pelliculae (summi strati LN) a massa efficiens. Vis mechanica ad exfoliationem perficiendam adhibetur.
Gradus V: Politura SuperficialisPolitura Chemica Mechanica (PCM) adhibetur ad superficiem superiorem LN laevigandam, qualitatem opticam et efficaciam instrumenti emendans.
Parametri Technici
| Materia | Opticus Gradus LiNbO3 crustula (alba) or Niger) | |
| Curie Temperatura | 1142±0.7℃ | |
| Sectio Angulus | X/Y/Z etc. | |
| Diameter/magnitudo | 2"/3"/4" ±0.03mm | |
| Tol (±) | <0.20 mm ±0.005 mm | |
| Crassitudo | 0.18～0.5mm vel plus | |
| Primarius Planus | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Arcus | -30 | |
| Stamina | <40μm | |
| Orientatio Planus | Omnia praesto | |
| Superficies Typus | Latere Uno Polito (SSP) / Latere Utroque Polito (DSP) | |
| Politus latus Ra | <0.5nm | |
| S/D | XX/X | |
| Margo Criteria | R=0.2mm Typus C or Bullnose | |
| Qualitas | Liber of fissura (bullae) et inclusiones) | |
| Opticus dopatus | Mg/Fe/Zn/MgO cetera nam opticus gradus LN crustula per petitus | |
| Oblata Superficies Criteria | Index refractionis | No = 2.2878/Ne = 2.2033 @ methodus copulatoris prismatis/longitudinis undae 632nm. |
| Contaminatio | Nullus | |
| Particulae c>0.3μ m | <=30 | |
| Scalpere, Fragmentum | Nullus | |
| Vitium | Nullae rimae in marginibus, scalpturae, vestigia serrarum, maculae | |
| Involucrum | Quantitas/Arca oblatarum | 25 partes per capsam |
Casus Usus
Propter versatilitatem et efficaciam suam, LNOI in multis industriis adhibetur:
Photonica:Modulatores compacti, multiplexatores, et circuiti photonici.
RF/Acustica:Modulatoria acousto-optica, filtra RF.
Computatio Quantica:Mixtores frequentiarum non lineares et generatores parium photonum.
Defensio et Aerospatium:Gyros optici parvae iacturae, instrumenta frequentiae mutantia.
Instrumenta Medica:Biosensores optici et exploratores signorum altae frequentiae.
Quaestiones Frequentes
Q: Cur LNOI praefertur SOI in systematibus opticis?
A:LNOI coefficientibus electro-opticis superioribus et ambitu perspicuitatis latiore praeditum est, quo fit ut maiorem efficaciam in circuitibus photonicis praestet.
Q: Estne CMP necessarium post divisionem?
A:Ita. Superficies LN exposita post sectionem ionum aspera est et polienda est ut specificationibus gradus optici satisfaciat.
Q: Quae est maxima magnitudo crustulae praesto?
A:Laminae LNOI commerciales plerumque 3" et 4" sunt, quamquam nonnulli praebitores variantes 6" evolvunt.
Q: Num stratum LN post divisionem iterum adhiberi potest?
A:Crystallum basicum denuo poliri et pluries adhiberi potest, quamquam qualitas post plures cyclos deperire potest.
Q: Num lamellae LNOI cum processu CMOS congruunt?
A:Ita, ita designata sunt ut cum processibus fabricationis semiconductorum conventionalibus congruant, praesertim cum substrata siliconis adhibentur.
